PINK V-series

Alkalmazások

• Tisztítás: szennyeződések és szerves maradványok eltávolítása, ultrapure felület előkészítés.
• Aktiválás: felületi energiának növelése jobb tapadásért (ragasztás, bevonatolás előtt).
• Maratás: finom, irányított anyageltávolítás.
• Bevonatolás: funkcionális polimerizáció plazmakörnyezetben (modell- és folyamatfüggően).

Fő jellemzők

• Mikrohullámú gerjesztés 2,45 GHz-en; PLC-alapú folyamatvezérlés és receptkezelés.
• 19″-es szekrényes kivitel (V15-G, V55-G, V80-G) és asztali modellek (V6-G, V10-G).
• MFC-s gázbevitelek: 1–2 csatorna (modelltől függően), bővíthető opciókkal.
• Kapcsolódás és szerviz: USB, Ethernet, VPN-es távkarbantartás.
• Opcionális funkciók: további gerjesztési frekvenciák (13,56 MHz, 40 kHz), soft-start / slow-vent, forgatóasztal vagy forgódob, valamint oldalsó mikrohullám-betáplálás (modellfüggően).

Modellek és fő adatok

• V6-G (asztali): kamra 170 × 200 × 170 mm; mikrohullám 50–300 W; 1 gázbemenet (MFC).
• V10-G (asztali): kamra Ø215 × 260 mm; mikrohullám 50–600 W; 1 MFC-csatorna; fotoreziszt-eltávolításra optimalizált, kvarcüveg kamrával.
• V15-G (19″): kamra 250 × 250 × 250 mm; mikrohullám 100–600 W; 1 MFC; opcióként oldalsó betáplálás, forgatóasztal/dob.
• V55-G (19″): kamra 400 × 460 × 340 mm; mikrohullám 100–1200 W; 2 MFC; választható automatikus ajtónyitás.
• V80-G (19″): kamra 400 × 460 × 430 mm; mikrohullám 100–1200 W; 2 MFC; opcióként forgatóasztal/dob és oldalsó betáplálás.

Integráció és inline megoldások

A V-sor standard berendezései mellett inline rendszerek is elérhetők (pl. V200-2G), két automata tolóajtóval és testreszabható interfészekkel a teljesen automatikus átmenő gyártáshoz; opció például az ózoncsapda és további gázcsatornák.